Modeling of plasma-induced damage and its impacts on parameter variations in advanced electronic devices
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Impacts of plasma process-induced damage on MOSFET parameter variability and reliability
Article history: Received 25 June 2015 Received in revised form 30 June 2015 Accepted 1 July 2015 Available online xxxx
متن کاملPLASMA ETCH INDUCED SURFACE DAMAGE AND ITS IMPACTS ON GaAs SCHOTTKY DIODES
Dry etch plays a very important role in fabrication of modern IIIV compound semiconductor devices. Compared to wet chemical etch, dry etch, which uses reactive gas plasma to remove substances chemically, has many advantages, such as better controllability, higher pattern reproducibility, and lower cost. Dry etch can induce surface damages that will affect physical and electrical properties of d...
متن کاملa head parameter survey on mazandarani dialect and its effect(s) on learning english from ca perspective (on the basis of x-bar syntax)1
there has been a gradual shift of focus from the study of rule systems, which have increasingly been regarded as impoverished, … to the study of systems of principles, which appear to occupy a much more central position in determining the character and variety of possible human languages. there is a set of absolute universals, notions and principles existing in ug which do not vary from one ...
15 صفحه اولa contrastive analysis of concord and head parameter in english and azerbaijani
این پایان نامه به بررسی و مقایسه دو موضوع مطابقه میان فعل و فاعل (از نظر شخص و مشار) و هسته عبارت در دو زبان انگلیسی و آذربایجانی می پردازد. اول رابطه دستوری مطابقه مورد بررسی قرار می گیرد. مطابقه به این معناست که فعل مفرد به همراه فاعل مفرد و فعل جمع به همراه فاعل جمع می آید. در انگلیسی تمام افعال، بجز فعل بودن (to be) از نظر شمار با فاعلشان فقط در سوم شخص مفرد و در زمان حال مطابقت نشان میدهند...
15 صفحه اولthe effect of aqueous extract of garlic on formalin-induced pain in male rats
چکیده اثر عصاره آبی سیر بر درد ناشی از آزمون فرمالین در موش صحرایی نر به کوشش نرگس اسکندری روزبهانی زمینه و هدف: گیاه سیر از خانواده لیلیاسه و گونهallium sativum بومی آسیای میانه بوده و از دوران ،باستان تاکنون به خواص درمانی متفاوت آن مثل: کاهندگی قندخون، کلسترول خون، فشار خون، اثرات مفیدآن بر دستگاه قلبی عروقی و بیماریهای انعقادی خون، اثرات آنتی اکسیداتیو، درمان بیماریهای تنفسی وگوارشی، ا...
15 صفحه اولذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
سال: 2011
ISSN: 0734-2101,1520-8559
DOI: 10.1116/1.3598382