Modeling of plasma-induced damage and its impacts on parameter variations in advanced electronic devices

نویسندگان
چکیده

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

Impacts of plasma process-induced damage on MOSFET parameter variability and reliability

Article history: Received 25 June 2015 Received in revised form 30 June 2015 Accepted 1 July 2015 Available online xxxx

متن کامل

PLASMA ETCH INDUCED SURFACE DAMAGE AND ITS IMPACTS ON GaAs SCHOTTKY DIODES

Dry etch plays a very important role in fabrication of modern IIIV compound semiconductor devices. Compared to wet chemical etch, dry etch, which uses reactive gas plasma to remove substances chemically, has many advantages, such as better controllability, higher pattern reproducibility, and lower cost. Dry etch can induce surface damages that will affect physical and electrical properties of d...

متن کامل

a head parameter survey on mazandarani dialect and its effect(s) on learning english from ca perspective (on the basis of x-bar syntax)1

there has been a gradual shift of focus from the study of rule systems, which have increasingly been regarded as impoverished, … to the study of systems of principles, which appear to occupy a much more central position in determining the character and variety of possible human languages. there is a set of absolute universals, notions and principles existing in ug which do not vary from one ...

15 صفحه اول

a contrastive analysis of concord and head parameter in english and azerbaijani

این پایان نامه به بررسی و مقایسه دو موضوع مطابقه میان فعل و فاعل (از نظر شخص و مشار) و هسته عبارت در دو زبان انگلیسی و آذربایجانی می پردازد. اول رابطه دستوری مطابقه مورد بررسی قرار می گیرد. مطابقه به این معناست که فعل مفرد به همراه فاعل مفرد و فعل جمع به همراه فاعل جمع می آید. در انگلیسی تمام افعال، بجز فعل بودن (to be) از نظر شمار با فاعلشان فقط در سوم شخص مفرد و در زمان حال مطابقت نشان میدهند...

15 صفحه اول

the effect of aqueous extract of garlic on formalin-induced pain in male rats

چکیده اثر عصاره آبی سیر بر درد ناشی از آزمون فرمالین در موش صحرایی نر به کوشش نرگس اسکندری روزبهانی زمینه و هدف: گیاه سیر از خانواده لیلیاسه و گونهallium sativum بومی آسیای میانه بوده و از دوران ،باستان تاکنون به خواص درمانی متفاوت آن مثل: کاهندگی قندخون، کلسترول خون، فشار خون، اثرات مفیدآن بر دستگاه قلبی عروقی و بیماریهای انعقادی خون، اثرات آنتی اکسیداتیو، درمان بیماریهای تنفسی وگوارشی، ا...

15 صفحه اول

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films

سال: 2011

ISSN: 0734-2101,1520-8559

DOI: 10.1116/1.3598382